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| 科技新成果信息 | |
| 摘 要： | 多通道光纤位移传感器一种新型的多通道高精度位移检测传感器——多路光纤位移传感器于1993年5月24日通过了由国家自然科学基金委员会组织的专家鉴定。该传感器的主要技术指标为:测量范围±1mm;分辨率为0.02μm;测量精度优于±0.15μm;零点漂移小于0.1μm/小时;工作距离为11mm 或33mm;测量头直径φ3mm。该传感器采用光纤耦合及分光结构,使从被测物体表面反射回光纤的测量光与直接在探头表面反射回的参考光形成共光路干涉结构。用锯齿波驱动电流使 |
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