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| 用PCVD制备的SnO2导电薄膜及其对NOx的气敏特性 | |
| 作者姓名： | 陈俊芳 姚凯伦 |
| 作者单位： | 华中理工大学物理系 武汉430074(陈俊芳，刘祖黎，朱大奇)，中国高等科学技术中心(世界实验室) 北京100080(姚凯伦) |
| 摘 要： | 本文利用PCVD方法制得了SnO_2导电薄膜,分析了其电学性能与沉积参数的关系,同时测得该膜具有负温阻特性,这种薄膜是n型半导体膜。在不同温度和不同NOx气体浓度下,对该膜进行了NOx气敏特性的测试。发现在常温下,SnO_2薄膜对NOx,具有较高的灵敏度,响应时间快的特性。 |
| 关 键 词： | PCVD 二氧化锌薄膜 薄膜 氧化氮 气敏特性 |
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