用溅射法制备反红外薄膜的特性研究

反红外薄膜在太阳能利用、节约能源等方面有着广泛的应用,这种薄膜对热辐射的红外波段具有高的反射率,而对可见光又有相当高的透射率。考虑到大量生产的可行性,我们选择铜为制备反红外薄膜的原材料,采用自制的“S”枪制备了反红外薄膜。一些参数的测定表明,成膜条件,特别是基板温度和气压对薄膜的导电率和红外反射率有很大的影响。用扫描俄歇谱仪对薄膜成分分析的结果表明:高红外反射率的铜膜中铜原子浓度较高,红外反射率较低的铜膜中含有较多的氧和碳。