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| 近距离升华制备CdTe掺Te薄膜的结构与电性能研究 | |
| 作者姓名： | 李锦 郑毓峰 戴康 徐金宝 陈树义 |
| 作者单位： | 新疆大学物理系 乌鲁木齐 830046 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(59862002) |
| 摘 要： | 采用近距离升华(Close-Spaced-Sublimation,CSS)技术制备CdTe及掺Te薄膜.并利用XRF、XRD、SEM及Hall系统研究了其含量、结构、表面形貌和电性能.结果表明,CSS技术制备的CdTe薄膜晶形好,晶粒度较RF方法制备的薄膜增大约100倍.Te掺入CdTe薄膜后,改变了CdTe膜的结晶特性,适当掺入Te可以促进CdTe晶格的生长,并导致Cdrre膜晶格常数变大.薄膜面电阻率降低,面载流子浓度增大,以及载流子迁移率的增大,表明掺杂Te后CdTe膜的电导性能大大改善. |
| 关 键 词： | 近距离升华（CSS）技术 CdTe薄膜 |
| 文章编号： | 1000-324X(2003)01-0195-05 |
| 收稿时间： | 2001-11-27 |
| 修稿时间： | 2001-11-27 |
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