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| 硅片传输机器人的发展及研究现状 | |
| 作者姓名： | 丛明 于旭 徐晓飞 |
| 作者单位： | 大连理工大学机械工程学院;大连理工大学机械工程学院;大连理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品. |
| 关 键 词： | 集成电路 硅片传输机器人 |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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