| 未来的传感器和执行器 |
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| 引用本文： | 孙立红. 未来的传感器和执行器[J]. 微电子学与计算机, 1994, 11(4): 52-56 |
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| 作者姓名： | 孙立红 |
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| 作者单位： | 沈阳市微电子技术开发应用公司 |
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| 摘 要： | 本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。
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| 关 键 词： | 微机械电子学，微传感器，微执行器 |
Sensors and Actuators for the Future |
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| Sun Lihong. Sensors and Actuators for the Future[J]. Microelectronics & Computer, 1994, 11(4): 52-56 |
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| Authors: | Sun Lihong |
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| Affiliation: | Shengyang Municipal MicroelectronicsTechnology Development Application Company.110003 |
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| Abstract: | The paper briefly reviews tile development of themicrosensors and microactuators. |
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| Keywords: | Micromechanical electronics Microsensor Microactuator |
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