|
|||||
|
|
| 催化剂在MOS 气敏传感器中的作用 | |
| 作者姓名： | 易惠中 |
| 作者单位： | 昆明88信箱 |
| 摘 要： | 1 概述 MOS气敏传感器是在含氧丰富的空气中使用的,在MOS表面存在吸附氧。温度不同,MOS表面吸附氧的形态也不同。例如,SnO_2表面的吸附氧有三种形态:常温～150℃吸脱附的α氧(O_2、O_2~-),400～500℃分解的化学吸附β氧(O~-)以及晶格中的离子氧(O~(2-)),构成升温脱附谱。 β氧的脱附将导致电导变化二个数量级;β氧与还原性气体反应,将得到还原性特强的产物,将电子释放给导带,让气体产物脱附: |
| 关 键 词： | 催化剂 MOS 气敏传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《传感技术学报》下载全文 | |