| 新型复合硅微传感器的设计 |
| |
| 引用本文： | 张文栋,石云波.新型复合硅微传感器的设计[J].纳米技术与精密工程,2004,2(1):24-28. |
| |
| 作者姓名： | 张文栋 石云波 |
| |
| 作者单位： | 华北工学院,太原,030051 |
| |
| 基金项目： | 全国优秀博士学位论文专项基金资助项目 (2 0 0 2 8) |
| |
| 摘 要： | 为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器．介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型．给出了传感器的微结构照片及其性能参数．
|
| 关 键 词： | 复合传感器 压力传感器 温度传感器 硅微传感器 设计 |
| 文章编号： | 1672-6030(2004)01-0024-05 |
| 修稿时间： | 2003年6月10日 |
Design of A Novel Micro-Silicon Composite Sensor |
| |
| ZHANG Wen dong,SHI Yun bo.Design of A Novel Micro-Silicon Composite Sensor[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2004,2(1):24-28. |
| |
| Authors: | ZHANG Wen dong SHI Yun bo |
| |
| Abstract: | A novel multi parameter composite sensor is presented.The design features the principle of semiconductor piezoresistance effect,variable capacitance and PN temperature effect.The system structure is sketched and the finite element analytic model is presented.The SEM photograph and performance parameters of the composite sensor are finally given. |
| |
| Keywords: | composite sensor pressure sensor temperature sensor |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
