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| 微机电系统CAD研究及发展现状 | |
| 引用本文： | 胡伟,胡国清,魏昕,谢小柱. 微机电系统CAD研究及发展现状[J]. 压电与声光, 2010, 32(4) |
| 作者姓名： | 胡伟 胡国清 魏昕 谢小柱 |
| 作者单位： | 1. 华南理工大学,机械与汽车工程学院,广东,广州,510641;广东工业大学机电工程学院,广东,广州,510006 2. 华南理工大学,机械与汽车工程学院,广东,广州,510641 3. 广东工业大学机电工程学院,广东,广州,510006 |
| 摘 要： | 随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析.介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法. |
| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS)CAD 设计模式 多能量域耦合 宏模型 |
Research and Development Status of MEMS CAD |
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| HU Wei,HU Guoqing,WEI Xin,XIE Xiaozhu. Research and Development Status of MEMS CAD[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(4) | |
| Authors: | HU Wei HU Guoqing WEI Xin XIE Xiaozhu |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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