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基于不同自组装单层的酞菁氧钒薄膜晶体管
引用本文:崔宁,张娟,李航宇,宋德.基于不同自组装单层的酞菁氧钒薄膜晶体管[J].液晶与显示,2015,30(1):57-63.
作者姓名:崔宁  张娟  李航宇  宋德
作者单位:长春理工大学理学院,吉林长春,130022
基金项目:高等学校博士学科点专项科研基金(No.20112216120008)
摘    要:研究了不同界面修饰层对酞菁氧钒(VOPc)薄膜晶体管性能的影响。通过AFM图谱分析不同界面修饰层上VOPc薄膜的生长行为,通过半导体参数测试仪测试分析不同界面上器件的电学特性。实验结果表明,十八烷基三氯硅烷(OTS-18)修饰后生长的VOPc薄膜,比正辛基三氯硅烷(OTS-8)和苯基三氯硅烷(PTS)修饰后的薄膜晶体尺寸更大、质量更优;基于OTS-18修饰的底栅顶接触型VOPc有机薄膜晶体管,在4种结构器件中具有最高的场效应迁移率(0.51cm2/V·s),相对于未修饰的器件迁移率提高了近40倍。较长的烷基链能够有效地隔绝VOPc分子和二氧化硅之间的相互作用,利于形成大晶粒尺寸、少缺陷的优质薄膜,获得高迁移率的TFT器件。绝缘层表面自组装单分子层的厚度对其上薄膜的生长行为和相应器件的性能影响极为明显,这一结论对有机半导体薄膜生长和器件制备具有指导意义。

关 键 词:自组装单分子层  薄膜形貌  酞菁氧钒  烷基链
收稿时间:2014/6/6

Vanadyl phthalocyanine thin film transistors based on different self-assembled monolayer
CUI Ning , ZHANG Juan , LI Hang-yu , SONG De.Vanadyl phthalocyanine thin film transistors based on different self-assembled monolayer[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2015,30(1):57-63.
Authors:CUI Ning  ZHANG Juan  LI Hang-yu  SONG De
Affiliation:CUI Ning;ZHANG Juan;LI Hang-yu;SONG De;Faculty of Science,Changchun University of Science and Technology;
Abstract:
Keywords:self-assembled monolayer  film morphology  VOPc  alkyl chain
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