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| CrN薄膜的制备及其抗氧化性的研究 | |
| 引用本文： | 赵广彬,曹晓英,栾道成,陈甥怡.CrN薄膜的制备及其抗氧化性的研究[J].工具技术,2011,45(2):46-49. |
| 作者姓名： | 赵广彬 曹晓英 栾道成 陈甥怡 |
| 作者单位： | 西华大学 |
| 摘 要： | 采用热阴极离子镀技术,成功制备了高质量的CrN薄膜,对crN薄膜进行了500℃-800℃的氧化实验.用高精度天平测量其质量变化、显微硬度计测量膜层硬度、XRD、XPS测量膜层结构、划痕仪测量膜层与基体的结合力等分析研究.实验结果表明:①利用热阴极离子镀技术能够制备出CrN硬质薄膜.在不同的工艺条件下,可以制备出具有面心... |
| 关 键 词： | CrN薄膜 热阴极离子镀 抗氧化性 |
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