X-射线荧光光谱法测定碳化硅和复合硅中磷含量

粉末压片，用X荧光光谱仪测定复合硅及碳化硅中的P含量。确定了压片压力，采用PE薄膜包试佯满足了X荧光光谱仪的真空度要求。该方法简便、快速、准确、可靠。检测结果满意。