| V型电热硅微致动器动态频率特性 |
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| 引用本文： | 张永宇,陈晓阳,杜向阳.V型电热硅微致动器动态频率特性[J].传感技术学报,2008,21(4):615-618. |
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| 作者姓名： | 张永宇 陈晓阳 杜向阳 |
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| 作者单位： | 上海工程技术大学机械工程学院,上海,201600;上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072 |
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| 摘 要： | 提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型。考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可进行其模态分析及动态频率特性的理论研究。利用自行设计制造的在线动态测试机构,测试了V型电热硅微致器在不同激励电压驱动下的响应输出,结果表明其位移输出也是随交变驱动电压的变化而非同步地发生变化。
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| 关 键 词： | 微致动器 电热 多晶硅 动态特性 MEMS |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0615-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Dynamic Frequency Characteristic of V-shaped
Electro-thermal Actuator |
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| ZHANG Yong-yu,CHEN Xiao-yang,DU Xiang-yang.Dynamic Frequency Characteristic of V-shaped
Electro-thermal Actuator[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(4):615-618. |
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| Authors: | ZHANG Yong-yu CHEN Xiao-yang DU Xiang-yang |
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| Affiliation: | 1. Mechanical Col lege of S hanghai Universi t y of Engineering Science , S hanghai 201600 , China;
2. School of Mechat ronical Engineering & A utomat ion , S hanghai Universit y , S hanghai 200072 , China |
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| Abstract: | A flexural oscillation model about V-shaped silicon electro-thermal microactuator is presented.Considering difficult to simplify the structure as a mass and spring model,it is calculated based on the continuum medium theory.Using the on line dynamical testing structure,response output of the actuator experimented at condition of alternate voltage driving.The results demonstrated the output displace changed with the changing voltage. |
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| Keywords: | microactuator electro-thermal poly-silicon dynamic characteristics MEMS |
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