Ag-Pd厚膜电阻的导电机理研究 |
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引用本文: | 张为军,堵永国,胡君遂,张君启,杨娟.Ag-Pd厚膜电阻的导电机理研究[J].混合微电子技术,2003,14(3):117-121,74. |
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作者姓名: | 张为军 堵永国 胡君遂 张君启 杨娟 |
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摘 要: | 分析了Ag-Pd厚膜电阻的烧成过程及其形成的微观结构,建立Ag-Pd厚膜电阻的导电模型;用数学式表述了接触压力和接触电阻的关系,并分析了影响接触压力的因素,包括各组分的膨胀系数、粒度、体积分数和烧成温度。
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关 键 词: | Ag-Pd厚膜电阻 导电机理 微观结构 接触压力 接触电阻 膨胀系数 粒度 体积分数 烧成温度 |
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