高纯度蚀刻气体的开发和生产 |
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作者姓名: | 佐藤四郎 石井冬彦 |
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作者单位: | 关东电化工业(株)新制品开发本部水岛研究所!テ712冈山县仓敷市松江4—8-4(佐藤四郎),关东电化工业(株)新制品开发本部氟研究所!テ377群马县涉川市1497(石井冬彦) |
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摘 要: | 关东电化工业(株)是以生产金属镁和烧碱为目的,1938年成立的公司。战后金属镁淘汰后,一直生产以烧碱为主的无机工业化学品195O年起,利用食盐电解生成的C12,开始生产含氯有机溶剂(三氯乙烯、四氯乙烯、1,l,亚一三氯乙烷)等。197o年在日本首次成功地进行工业性的氟气生产,并开始提供以SF。为主的各种含氟产品。另外,SO年代开始,由于半导体产业高集成化的急剧加速,要求用主纯度的氟化物气体作为蚀刻剂来取代以往的HF,关东电化对应于这种需要,用独特的生产方法,不断成功地开发高纯度蚀刻刑并商品化。这产品如表1所示,其特…
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关 键 词: | 气体蚀刻 氟化物气体 蚀刻 |
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