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| 高纯度蚀刻气体的开发和生产 | |
| 作者姓名： | 佐藤四郎 石井冬彦 |
| 作者单位： | 关东电化工业（株）新制品开发本部水岛研究所!テ712冈山县仓敷市松江4—8－4(佐藤四郎)，关东电化工业（株）新制品开发本部氟研究所!テ377群马县涉川市1497(石井冬彦) |
| 摘 要： | 关东电化工业（株）是以生产金属镁和烧碱为目的，1938年成立的公司。战后金属镁淘汰后，一直生产以烧碱为主的无机工业化学品195O年起，利用食盐电解生成的C12，开始生产含氯有机溶剂（三氯乙烯、四氯乙烯、1，l，亚一三氯乙烷）等。197o年在日本首次成功地进行工业性的氟气生产，并开始提供以SF。为主的各种含氟产品。另外，SO年代开始，由于半导体产业高集成化的急剧加速，要求用主纯度的氟化物气体作为蚀刻剂来取代以往的HF，关东电化对应于这种需要，用独特的生产方法，不断成功地开发高纯度蚀刻刑并商品化。这产品如表1所示，其特… |
| 关 键 词： | 气体蚀刻 氟化物气体 蚀刻 |
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