| 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析 |
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| 引用本文： | 曹井通,崔峰,陈伟,郭兆鑫,陈文元. 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析[J]. 半导体光电, 2015, 36(5): 725-727.732 |
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| 作者姓名： | 曹井通 崔峰 陈伟 郭兆鑫 陈文元 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳电子系微米纳米加工国家重点实验室,上海,200240;上海交通大学微纳电子系微米纳米加工国家重点实验室,上海,200240;上海交通大学微纳电子系微米纳米加工国家重点实验室,上海,200240;上海交通大学微纳电子系微米纳米加工国家重点实验室,上海,200240;上海交通大学微纳电子系微米纳米加工国家重点实验室,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家“973”计划项目(2011CB933102);上海市科委平台建设项目(11DZ2290303) |
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| 摘 要： | 基于MEMS加工技术,提出了一种加热、传感电极和反应腔室可分离的PCR芯片结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用PDMS材料,芯片的制造成本大为降低.利用COMSOL软件对设计的PCR芯片进行了温度场仿真分析,并用红外热像测温仪(NEC R300)对微制造的芯片温度场分布进行了测量.测量结果表明芯片结构能得到较好的温度均匀性,为后续PCR芯片扩增实验提供了可靠的依据.
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| 关 键 词： | MEMS PCR芯片 PDMS COMSOL 温度仿真 |
| 收稿时间： | 2014-12-15 |
Analysis on PCR Chip With Reusable Electrodes and its Temperature Field |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS PCR microchip PDMS COMSOL temperature simulation |
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