| 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件Ⅰ. 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜 |
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| 引用本文： | 田芳,郭晓丽,张颖欣,王倩,裘南畹.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件Ⅰ. 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜[J].山东大学学报(工学版),2008,38(5):99-101. |
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| 作者姓名： | 田芳 郭晓丽 张颖欣 王倩 裘南畹 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100
2. 济南半导体实验所,山东,济南,250100
3. 山东大学物理学院,山东,济南,250100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60372030); 山东省火炬计划资助项目(111600/04040214) |
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| 摘 要： | 利用反溅,发展了粉末溅射工艺；指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性；给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2(100~x)／CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x％的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的数值;给出了响应时间随膜厚变化的规律.
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| 关 键 词： | 粉末溅射 最佳膜厚 响应时间 |
| 收稿时间： | 2008-04-12 |
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