| 铝合金真空镀膜室超大开口密封面变形有限元分析 |
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| 引用本文： | 严仁军,王勇,李嵘,王建峰. 铝合金真空镀膜室超大开口密封面变形有限元分析[J]. 机械设计与制造, 2003, 0(2): 52-53 |
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| 作者姓名： | 严仁军 王勇 李嵘 王建峰 |
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| 作者单位： | 1. 武汉理工大学交通学院,武汉,430063
2. 深圳威士达真空系统工程公司,深圳,518000 |
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| 摘 要： | 采用有限元方法，利用大型CAE数值分析软件ANSYS对某真空镀膜系统的镀膜室建立更符合工程实际的立体模型进行计算，分析出在工作状态下，该真空系统镀膜室的密封面的变形分布，为产品的研制设计提供了详实、可靠的理论依据。
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| 关 键 词： | 铝合金 真空镀膜 镀膜室 密封面 有限元 CAE 数值分析 变形 光电子产品 |
| 文章编号： | 1001-3997(2003)02-0041-02 |
| 修稿时间： | 2002-10-15 |
Finite element analysis of deformation super hatch aluminum alloy vacuum plating chamber |
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| YAN Ren-jun,WANG Yong,LI Rong. Finite element analysis of deformation super hatch aluminum alloy vacuum plating chamber[J]. Machinery Design & Manufacture, 2003, 0(2): 52-53 |
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| Authors: | YAN Ren-jun WANG Yong LI Rong |
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| Abstract: | A 3D model of aluminum alloy vacuum plating chamber is created by FEM. method based on the ANSYS, analyze and calculate the distortion of the aluminum alloy vacuum plating chamber for the design. |
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| Keywords: | Finite element analysis Aluminum alloy vacuum plating chamber Analysis of deformation |
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