| 非晶硅太阳能电池生产中沉积SnO2膜的均匀性 |
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| 引用本文： | 吕宝堂,赵晖,邹邦涛,贾兆滨. 非晶硅太阳能电池生产中沉积SnO2膜的均匀性[J]. 能源工程, 2001, 0(3): 7-8 |
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| 作者姓名： | 吕宝堂 赵晖 邹邦涛 贾兆滨 |
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| 作者单位： | 哈尔滨-克罗拉太阳能电力公司 |
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| 摘 要： | 介绍了用化学气相法沉积大面积SnO2透明电膜的原理和方法。通过沉积器具有工艺的改进，提高了大面积SnO2膜方块电阻和光透过率的均匀性。讨论了SnO2膜均匀性对非晶硅太阳电池的影响。
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| 关 键 词： | 非晶硅 太阳电池 薄膜 均匀性 二氧化锡 |
| 文章编号： | 1004-3950(2001)03-0007-02 |
| 修稿时间： | 2001-05-14 |
Homogeneity of industrial CVD SnO2 film |
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| LU Bao|tang,ZHAO Hui,ZOU Ban|tao,JIA Zhao|bin. Homogeneity of industrial CVD SnO2 film[J]. Energy Engineering, 2001, 0(3): 7-8 |
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| Authors: | LU Bao|tang ZHAO Hui ZOU Ban|tao JIA Zhao|bin |
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| Abstract: | The fabrication technology of large|sized SnO-2:F film is described. The homogeneity of the square resistance of large|sized SnO-2:F film is improved by advanced deposition process and deposited block. The effect of homogeneity of SnO-2 film on amorphous solar cell is discussed. |
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| Keywords: | SnO-2 amorphous silicon solar cell |
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