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薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状
引用本文:贾振元,武丹,杨兴,郭东明,郭丽莎. 薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状[J]. 压电与声光, 2000, 22(3): 157-159,167
作者姓名:贾振元  武丹  杨兴  郭东明  郭丽莎
作者单位:大连理工大学,机械工程学院,大连,116024
摘    要:超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械中的应用,并对超磁致伸缩薄膜的微执行器中的应用进行了展望。

关 键 词:超磁致伸缩 微执行器 薄膜 微型机电系统

Current Study on Giant Magnetostrictive Thin Film Microactuators
JIA Zhen-yuan,WU Dan,YANG Xing,GUO Dong-ming,GUO Li-sha. Current Study on Giant Magnetostrictive Thin Film Microactuators[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2000, 22(3): 157-159,167
Authors:JIA Zhen-yuan  WU Dan  YANG Xing  GUO Dong-ming  GUO Li-sha
Abstract:Giant magnetostictive thin film is a new type of actuating components with high performance.Based on many references,the article introduces the actuating principle of giant magnetostictive thin film,describes the latest research results of giant magnetostrictive thin film microactuators.Emphasis on the application to microfluid control system,linear ultrasonic micromotor and micro walking mechanism.A prospect is made for the progress of giant magnetostictive thin film in microactuators.
Keywords:giant magnetostictive  microactuator  thin film
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