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SiTime开发新结构MEMS振子
摘    要:美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新结构MEMS振子。MEMS振荡器(硅振荡器)是由利用MEMS技术制造的硅共振结构(振子)和驱动电路等组合构成的,该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子,通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。

关 键 词:MEMS  共振结构  振子  开发  共振频率  振荡器  驱动电路  技术制造
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