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SiTime开发新结构MEMS振子
摘 要:
美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新结构MEMS振子。MEMS振荡器(硅振荡器)是由利用MEMS技术制造的硅共振结构(振子)和驱动电路等组合构成的,该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子,通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。
关 键 词:
MEMS
共振结构
振子
开发
共振频率
振荡器
驱动电路
技术制造
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