￠1.8 mm棒状压电陶瓷微马达的研究

提出一种低成本、结构简单，直径为￠1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸￠1.8 mm×8 mm的压电陶瓷圆棒，马达整体装配外形尺寸￠1.8 mm×12 mm，质量不足0.25 g，稳定工作频带宽，约为3 kHz，最高空载转速不低于500r/min。