| 用于液晶光阀空间光调制器的ITO透明导电膜的研制 |
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| 引用本文： | 朱振才,顾培夫. 用于液晶光阀空间光调制器的ITO透明导电膜的研制[J]. 激光与红外, 1991, 0(4) |
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| 作者姓名： | 朱振才 顾培夫 |
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| 作者单位： | 浙江大学光仪系(朱振才)，浙江大学光仪系(顾培夫) |
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| 摘 要： | 本文介绍了ITO(Indium Tin Oxide)透明导电膜的制备工艺,对影响其光学和电学特性的因素作了分析。并讨论了透明导电的机理,在K9玻璃上制备的ITO透明导电膜,在500～600nm波长范围内,典型的峰值透过率为90％,面电阻为40～50Ω/□。用该技术制备的样品作为透明电极,在液晶光阀空间光调制器中得到了应用。
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| 关 键 词： | ITO透明导电膜 |
Development of Transparent and Electroconductive Indium Tin Oxide Films (ITO) Used in the Liquid Crystal Light Valve (LCLV) |
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| Zhu Zhencai Gu Peifu. Development of Transparent and Electroconductive Indium Tin Oxide Films (ITO) Used in the Liquid Crystal Light Valve (LCLV)[J]. Laser & Infrared, 1991, 0(4) |
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| Authors: | Zhu Zhencai Gu Peifu |
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| Affiliation: | Zhu Zhencai Gu Peifu |
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| Keywords: | transparent and electrically conductive ITO films |
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