| 悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展 |
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| 引用本文： | 张卫平,陈文元,赵小林,吴校生,崔峰,刘武,黄晓刚,肖奇军,马高印,张忠榕.悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展[J].功能材料与器件学报,2008,14(3):721-728. |
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| 作者姓名： | 张卫平 陈文元 赵小林 吴校生 崔峰 刘武 黄晓刚 肖奇军 马高印 张忠榕 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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武器装备预研基金 |
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| 摘 要： | 分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展.
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| 关 键 词： | 悬浮转子微陀螺 技术关键 方案 最新进展 |
Key technology, innovation design and current development of micro gyroscope with levitation rotor |
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| ZHANG Wei-ping,CHEN Wen-yuan,ZHAO Xiao-lin,WU Xiao-sheng,CUI Feng,LIU Wu,HUANG Xiao-gang,XIAO Qi-jun,MA Gao-yin,ZHANG Zhong-rong.Key technology, innovation design and current development of micro gyroscope with levitation rotor[J].Journal of Functional Materials and Devices,2008,14(3):721-728. |
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| Authors: | ZHANG Wei-ping CHEN Wen-yuan ZHAO Xiao-lin WU Xiao-sheng CUI Feng LIU Wu HUANG Xiao-gang XIAO Qi-jun MA Gao-yin ZHANG Zhong-rong |
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