| SIMOX大截面单模脊型光波导的研制 |
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| 引用本文： | 林志浪 程新利 王永进 张峰. SIMOX大截面单模脊型光波导的研制[J]. 光电子．激光, 2004, 15(1): 25-28 |
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| 作者姓名： | 林志浪 程新利 王永进 张峰 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2001AA312070) |
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| 摘 要： | 以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon—on-insulator)为衬底，利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料，进而通过反应离子刻蚀方法在厚膜SOI材料上成功研制了SIMOX大截面单模脊型光波导。对于波长为1．55μm的光，其传输损耗小于0．6dB／cm。
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| 关 键 词： | 注入氧隔离(SIMOX) 化学气相沉积 脊型光波导 集成光学 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)01-0025-04 |
Fabrication of SIMOX Single-mode Rib Waveguides with Large Cross-section |
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| LIN Zhi-lang. Fabrication of SIMOX Single-mode Rib Waveguides with Large Cross-section[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2004, 15(1): 25-28 |
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| Authors: | LIN Zhi-lang |
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| Affiliation: | LIN Zhi-lang~ |
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| Keywords: | separation by implanted oxygen(SIMOX) chemical vapor deposition rib waveguide integrated optics |
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