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GDa—Si：H薄膜的内耗及结构缺陷

引用本文：	吴平,杨国平.GDa—Si：H薄膜的内耗及结构缺陷[J].唐山工程技术学院学报,1993,15(4):77-82.

作者姓名：	吴平杨国平

摘要：
关键词：	内耗缺陷非晶半导体薄膜硅
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