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一种扫描电镜二次电子探测器闪烁体的制备方法
引用本文:钱纬,韩丹.一种扫描电镜二次电子探测器闪烁体的制备方法[J].电子显微学报,1993,12(2):197-197.
作者姓名:钱纬  韩丹
作者单位:昆明医学院电镜室,昆明医学院电镜室
摘    要:扫描电镜(SEM)中的二次电子探测器闪烁体是决定SEM图像质量的关键部件。目前广泛使用P47荧光粉制作SEM闪烁体,由于制作工艺麻烦,保存性能较差,而且闪烁体的发光效率受荧光粉粉层沉积厚度的直接影响,实验室制作较为困难。ST—401塑料闪烁体是在塑料中加入短余辉(5μS)荧光粉,其发光光谱主峰位于

关 键 词:电子显微镜  SEM  二次电子探测器  闪烁体
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