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| 楔形扫描器在激光微加工中的应用 | |
| 引用本文： | 沈一愚,潘涌,骆公序,郭永强,姜兆华,陈俊.楔形扫描器在激光微加工中的应用[J].应用激光,2012,32(5):408-411. |
| 作者姓名： | 沈一愚 潘涌 骆公序 郭永强 姜兆华 陈俊 |
| 作者单位： | 沈一愚:上海市激光技术研究所, 上海200233上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233 潘涌:上海市激光技术研究所, 上海200233上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233 骆公序:上海市激光技术研究所, 上海200233上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233 郭永强:上海市激光技术研究所, 上海200233上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233 姜兆华:上海市激光技术研究所, 上海200233上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233 陈俊:上海市激光技术研究所, 上海200233上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233 |
| 基金项目： | 上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金资助项目(项目编号: 2010-109) |
| 摘 要： | 激光在加工微米级小孔径领域中有着明显优势, 尤其是在对于特殊孔形的小孔加工中, 激光可以实现高精度高速度的轮廓描绘。探讨了双光楔旋转打孔激光加工系统在不锈钢、单晶硅等材料上异形孔加工成型的工艺参数, 结果表明更多的重复次数在小孔加工中起着比激光能量更重要的作用。同时实验也利用旋转双光楔扫描器在不同材料表面进行了异形微孔加工, 验证了双光楔系统在实际工业打孔加工应用中的可能性。 |
| 关 键 词： | 折射式扫描 异性微孔 激光加工 |
| 收稿时间： | 2012/5/21 |
The Application of Rotary Wedge Scanner in Laser Micro Processing |
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| Abstract: | Laser is a distinguish method in micro hole processing especially for special shape hole producing achieved by high speed scanning. In this paper, Rotary wedge scanner (RWS) is employed in laser optical system in micro special shape hole processing on steel and silicon wafer. Multiplicity of process is found a more important parameter than laser density or linear speed. Also technological test for micro special shape hole processing is done on different surfaces, thus the possibility of application RWS in industry is proved. |
| Keywords: | rotary wedge scanner special-shaped micro hole laser micro processing |