用于强流离子注入的气体——金属弧离子注入机

本文介绍了新型的ＴＩＴＡＮ离子注入系统的结构，特点及其原理，ＴＩＴＡＮ源设计思想新颖，是ＤＥＮＮＩＮＧ源与ＭＥＶＶＡ源的有机结合，它能给出气体离子，也能给出金属和气体的混合离子，在金属材料改性方面具有潜在应用前景，笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。