用于强流离子注入的气体——金属弧离子注入机 |
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引用本文: | 黄拿灿,黎炳雄.用于强流离子注入的气体——金属弧离子注入机[J].国外金属热处理,1997,18(5):14-16. |
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作者姓名: | 黄拿灿 黎炳雄 |
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摘 要: | 本文介绍了新型的TITAN离子注入系统的结构,特点及其原理,TITAN源设计思想新颖,是DENNING源与MEVVA源的有机结合,它能给出气体离子,也能给出金属和气体的混合离子,在金属材料改性方面具有潜在应用前景,笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。
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关 键 词: | 金属材料 改性 离子注入 离子注入机 |
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