|
|||||
|
|
| 利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究 | |
| 引用本文： | 郑慈航,唐刚,刘景全,李以贵,余震,何丹农,杨春生. 利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究[J]. 压电与声光, 2011, 33(3): 418-421 |
| 作者姓名： | 郑慈航 唐刚 刘景全 李以贵 余震 何丹农 杨春生 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学材料科学与工程学院,上海200240;纳米技术及应用国家工程研究中心,上海200241 2. 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240;南昌工程学院机械与电气学院,江西南昌330099 3. 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240 4. 上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200240 |
| 基金项目： | 科技部国际合作基金资助项目，上海市国际科技合作基金资助项目，国家自然科学基金资助项目，新世纪优秀人才支持计划基金资助项目 |
| 摘 要： | 采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器.介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术.该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖... |
| 关 键 词： | 压电发电 能量采集 PZT块材 微机电系统 |
Study on MEMS-based Piezoelectric Cantilever Generator Fabricated by Bulk PZT |
|
| ZHENG Cihang,TANG Gang,LIU Jingquan,LI Yigui,YU Zhen,HE Dannong,YANG Chunsheng. Study on MEMS-based Piezoelectric Cantilever Generator Fabricated by Bulk PZT[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2011, 33(3): 418-421 | |
| Authors: | ZHENG Cihang TANG Gang LIU Jingquan LI Yigui YU Zhen HE Dannong YANG Chunsheng |
| Affiliation: | ZHENG Cihang1,2,TANG Gang3,4,LIU Jingquan3,LI Yigui3,YU Zhen1,HE Dannong1,YANG Chunsheng3 (1.College of Materials Science and Engineering,Shanghai JiaotongUniversity,Shanghai 200240,China,2.National Engineering Research Center for Nanotechnology(NERCN),Shanghai 200241,3.National Key Lab.of Nano/Micro Fabrication Technology,Key Lab.for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education,Institute of Micro and Nano Science and Technology,4.Dept.of ... |
| Abstract: | |
| Keywords: | piezoelectric generating energy harvesting bulk PZT MEMS |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |