| 硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究 |
| |
| 引用本文： | 孙玉虹, 曹嘉峰, 王成, 陈晓勇, 孔龄婕, 丑修建, 孙立宁. 硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究[J]. 红外技术, 2015, (4): 347-350. |
| |
| 作者姓名： | 孙玉虹 曹嘉峰 王成 陈晓勇 孔龄婕 丑修建 孙立宁 |
| |
| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;苏州大学机电工程学院&江苏省先进机器人技术重点实验室&苏州纳米科技协同创新中心 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，编号51275492；中国博士后科学基金特别资助项目，编号2013T60557；中国博士后科学基金面上资助项目，编号2012M521118；江苏省博士后科研资助计划项目，编号1201038C。 |
| |
| 摘 要： | 硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件，其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能，然而，国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道，因此，为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布，对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL（Optronic Laboratories）系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试，相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3～5mm，中心波长在3.6mm处，其大气透过率接近90%，具有很好的大气透射度。
|
| 关 键 词： | MEMS红外光源 光谱测试 光栅衍射 光谱辐射 |
The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source |
| |
| SUN Yu-hong, CAO Jia-feng, WANG Cheng, CHEN Xiao-yong, KONG Ling-jie, CHOU Xiu-jian, SUN Li-ning. The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source[J]. Infrared Technology , 2015, (4): 347-350. |
| |
| Authors: | SUN Yu-hong CAO Jia-feng WANG Cheng CHEN Xiao-yong KONG Ling-jie CHOU Xiu-jian SUN Li-ning |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《红外技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《红外技术》下载全文 |
|
