| 真空规原位置校准装置 |
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| 引用本文： | 李正海. 真空规原位置校准装置[J]. 真空与低温, 2008, 14(4) |
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| 作者姓名： | 李正海 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 介绍了一种真空规原位置校准的设备,以及原位置校准技术研究,该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,同时可以满足真空规的在线原位校准。
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| 关 键 词： | 真空规 原位置 校准 |
DEVELOPMENT OF AN IN SITU VACUUM GAUGE CALIBRATION SYSTEM |
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| LI Zheng-hai. DEVELOPMENT OF AN IN SITU VACUUM GAUGE CALIBRATION SYSTEM[J]. Vacuum and Cryogenics, 2008, 14(4) |
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| Authors: | LI Zheng-hai |
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| Affiliation: | Lanzhou Institute of Physics;Lanzhou 730000;China |
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| Abstract: | An in situ vacuum gauge calibration system is described together with its calibration technology.The system possesses simple structure,practicality and small uncertainty,which can settle for in situ vacuum gauge calibration. |
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| Keywords: | vacuum gauge in situ calibration |
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