| 二氧化钒微测辐射热计的制备及工艺 |
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| 引用本文： | 王利霞,何秀丽,高晓光. 二氧化钒微测辐射热计的制备及工艺[J]. 功能材料与器件学报, 2010, 16(4) |
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| 作者姓名： | 王利霞 何秀丽 高晓光 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学理学院,南京,210046;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 南京邮电大学科研启动基金 |
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| 摘 要： | 针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18.1kV/W;探测率为1.37×108cmHz1/2/W;热时间常数为72.4ms。
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| 关 键 词： | 二氧化钒 微测辐射热计 MEMS 红外 |
Preparation and process research of VO2 microbolometer |
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| WANG Li-xia,HE Xiu-li,GAO Xiao-guang. Preparation and process research of VO2 microbolometer[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2010, 16(4) |
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| Authors: | WANG Li-xia HE Xiu-li GAO Xiao-guang |
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| Affiliation: | WANG Li-xia1,HE Xiu-li2,GAO Xiao-guang2(1.College of Mathematics & Physics,Nanjing University of Posts and Telecommunications,Nanjing 210046,China,2.State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100080,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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