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超低温烧结ZTT陶瓷微结构及介电性能研究
引用本文:陈琳玲,陈宏伟,张继华,赵强,杨传仁.超低温烧结ZTT陶瓷微结构及介电性能研究[J].压电与声光,2013,35(5):724-726.
作者姓名:陈琳玲  陈宏伟  张继华  赵强  杨传仁
作者单位:电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054
摘    要:采用传统固相反应法制备Zn2 Te3 O8-30%TiTe3O8 (ZTT,质量分数)粉体,在低于600℃的管式气氛炉中烧结,利用XRD、SEM及微波网络分析仪等手段对不同热处理后的样品进行分析,并测试介电性能.实验表明,ZTT能在超低温下烧结成瓷,且介电性能良好(低频测试下介电常数εr=19~27,损耗低于3%,高频下品质因数与频率之积Q×f=56 191 GHz,频率温度系数τf=1.66μ℃-1),为制作低成本薄膜电容提供可能.

关 键 词:微波介质陶瓷  超低温烧结  介电性能  Zn2Te3O8-30%TiTe3O8(ZTT)

Microstructure and Dielectric Property of Ultra Low Fire ZTT Ceramics
CHEN Linling,CHEN Hongwei,ZHANG Jihu,ZHAO Qiang and YANG Chuanren.Microstructure and Dielectric Property of Ultra Low Fire ZTT Ceramics[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2013,35(5):724-726.
Authors:CHEN Linling  CHEN Hongwei  ZHANG Jihu  ZHAO Qiang and YANG Chuanren
Affiliation:State Key Lab. of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China
Abstract:
Keywords:microwave dielectric ceramic  ultra-low-fire  dielectric property  Zn2 Te3 O8-30 % TiTe3O8
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