| 微机械陀螺检测接口建模及前置放大器优化 |
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| 引用本文： | 赵阳,裘安萍,施芹,赵健. 微机械陀螺检测接口建模及前置放大器优化[J]. 光学精密工程, 2013, 21(7) |
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| 作者姓名： | 赵阳 裘安萍 施芹 赵健 |
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| 作者单位： | 南京理工大学MEMS惯性技术研究中心,江苏南京,210094 |
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| 基金项目： | 武器装备预研基金资助项目，国家863高技术研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 为了进一步提高微机械陀螺的极限分辨率,建立了基于SOI工艺的微机械陀螺的检测接口模型,并设计了与之相匹配的前置接口放大器.首先,根据陀螺表头的实际结构建立了微机械陀螺表头的RC集总参数模型和微机械陀螺检测接口的噪声模型,分析了检测接口主导噪声源及提高极限分辨率的措施.然后,在跨阻式前置放大器的基础上设计了改进的与检测接口匹配的T型前置放大器.实验结果表明:相比于跨阻式前置放大器,采用改进的T型前置放大器的等效噪声输入电流由1.18 pA/√Hz降低至0.27 pA/√Hz,对应的电容极限分辨率可达到0.62 aF/√Hz.结果显示,采用与检测接口匹配的T型前置放大器提高了微机械陀螺的极限分辨率.
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 接口模型 极限分辨率 T型前置放大器 |
Modeling of sensing interface for micromachined gyroscope and its front-end optimization |
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| ZHAO Yang , QIU An-ping , SHI Qin , ZHAO Jian. Modeling of sensing interface for micromachined gyroscope and its front-end optimization[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(7) |
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| Authors: | ZHAO Yang QIU An-ping SHI Qin ZHAO Jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromachined gyroscope interface model resolving limit T-network front-end |
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