等离子体技术制备高阻隔薄膜作用方式和应用现状（二）

近年来，在食品和药品包装、可穿戴有机电子封装、有机发光二极管（OLED）和量子点封装、真空绝缘板密封、生物医学和可再生能源防护等方面，以柔性塑料为基体的阻湿、阻氧、高透明的薄膜得到了广泛的应用，促进了阻隔膜制备技术的发展。等离子体技术在阻隔膜制备中显示出独特的优势，包括：可以大规模生产制备阻隔膜、薄膜性能优异、产品成本低廉等。这些等离子体技术包括等离子体增强物理气相沉积（PEPVD）、等离子体增强/辅助化学气相沉积（PECVD/PACVD）和等离子体增强/辅助原子层沉积（PEALD/PAALD）技术等。综述了基于等离子体技术制备阻隔膜的方法和理论，主要介绍等离子体源、等离子体作用方式、等离子体诊断和等离子体增强沉积阻隔膜的生长机制，以阐明等离子体参数和阻隔膜制备及性能之间的内在联系，为阻隔薄膜乃至类似柔性功能材料的制备和应用提出指导性建议。