| 高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究 |
| |
| 引用本文： | 彭志坚,苗赫濯,杨思泽,刘赤子,齐龙浩,潘伟. 高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究[J]. 机械工程材料, 2004, 28(1): 20-22 |
| |
| 作者姓名： | 彭志坚 苗赫濯 杨思泽 刘赤子 齐龙浩 潘伟 |
| |
| 作者单位： | 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084;中国科学院物理研究所,北京,100080 |
| |
| 摘 要： | 用高能量密度脉冲等离子体同轴枪分别在硬质合金和氮化硅陶瓷刀具基体上沉积了Ti(C，N)薄膜，研究了各种因素对薄膜相转化的影响，通过XRD分析，最后得到合适的Ti(C，N)薄膜沉积工艺条件是：枪压3．5kV，同轴枪与试样间距30～40mm，氮气进气压力0．2MPa，电磁阀电压1．5kV，脉冲等离子轰击次数5次以上。
|
| 关 键 词： | 高能量密度脉冲等离子体 碳氮化钛薄膜 刀具 相转化 |
| 文章编号： | 1000-3738(2004)01-0020-03 |
Preparation of Ti(C,N) Coatings for Cutting Tools by Pulsed High Energy Density Plasma Coaxial Gun |
| |
| PENG Zhi-jian,MIAO He-zhuo,YANG Si-ze,LIU Chi-zi,QI Long-hao,PAN Wei. Preparation of Ti(C,N) Coatings for Cutting Tools by Pulsed High Energy Density Plasma Coaxial Gun[J]. Materials For Mechanical Engineering, 2004, 28(1): 20-22 |
| |
| Authors: | PENG Zhi-jian MIAO He-zhuo YANG Si-ze LIU Chi-zi QI Long-hao PAN Wei |
| |
| Affiliation: | PENG Zhi-jian~1,MIAO He-zhuo~1,YANG Si-ze~2,LIU Chi-zi~2,QI Long-hao~1,PAN Wei~1 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | pulsed high energy density plasma Ti(C N) coating cutting tool phase transformation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
