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| MEMS运动件的芯片外机械驱动方法 | |
| 引用本文： | 王皓,姚汉民,杜春雷,焦玉中.MEMS运动件的芯片外机械驱动方法[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 王皓 姚汉民 杜春雷 焦玉中 |
| 摘 要： | 研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合,从而驱动微运动件.重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点,介绍国外代表性研究结果,并提出对该方法进一步研究的观点与设想. |
| 关 键 词： | 微机电系统 驱动器 微细加工 振动 压电陶瓷 |
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