| 单电机驱动椭偏双补偿器旋转结构及系统控制 |
| |
| 引用本文： | 林聪,张瑞,薛鹏,尚琰,刘政杰,徐跃. 单电机驱动椭偏双补偿器旋转结构及系统控制[J]. 激光杂志, 2021, 42(12): 39-43. DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2022.12.039 |
| |
| 作者姓名： | 林聪 张瑞 薛鹏 尚琰 刘政杰 徐跃 |
| |
| 作者单位： | 中北大学,太原 030000 |
| |
| 摘 要： | 针对目前双伺服电机控制补偿器旋转的椭偏测量技术中电机同步旋转控制复杂,且探测器同步信号触发采集困难、长时间运行稳定性差等缺点.提出一种基于单电机驱动的双相位补偿器旋转结构以及控制方法.该结构中与伺服电机连接的同步齿轮的直径比为5∶3,不同的齿轮直径是为实现对双旋转补偿器的差速控制,结合双旋转补偿器椭偏测量理论,实现样品...
|
| 关 键 词： | 椭偏仪 穆勒矩阵 单电机驱动 双旋转补偿器 |
Rotational structure and system control of ellipsometric double compensator driven by single motor |
| |
| LIN Cong,ZHANG Rui,XUE Peng,SHANG Yan,LIU Zhengjie,XU Yue. Rotational structure and system control of ellipsometric double compensator driven by single motor[J]. Laser Journal, 2021, 42(12): 39-43. DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2022.12.039 |
| |
| Authors: | LIN Cong ZHANG Rui XUE Peng SHANG Yan LIU Zhengjie XU Yue |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
