| Nb~(5+)/Ti~(4+)离子对O_3气敏元件的性能改善 |
| |
| 引用本文： | 邓永和,唐世洪,谭子尤,张勇华,梁平原,曾庆立. Nb~(5+)/Ti~(4+)离子对O_3气敏元件的性能改善[J]. 微纳电子技术, 2002, 39(5): 31-33 |
| |
| 作者姓名： | 邓永和 唐世洪 谭子尤 张勇华 梁平原 曾庆立 |
| |
| 作者单位： | 吉首大学物理与电子工程系,湖南,吉首,416000 |
| |
| 摘 要： | 在WO3中掺AN5+、Ti4+杂质离子,制成傍热式厚膜元件,结合开溢脱附（TPD）和半导体分析,研究了掺杂离子对元件性能的影响。
|
| 关 键 词： | 掺杂离子 O3气敏元件 影响 |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)05-0031-03 |
| 修稿时间： | 2001-10-27 |
Nb5+/Ti4+ ion effects on the properties of O3 sensors |
| |
| DENG Yong-he,TANG Shi-hong,TAN Zi-you,ZHANG Yong-hua,LIANG Ping-yuan,ZENG Qing-li. Nb5+/Ti4+ ion effects on the properties of O3 sensors[J]. Micronanoelectronic Technology, 2002, 39(5): 31-33 |
| |
| Authors: | DENG Yong-he TANG Shi-hong TAN Zi-you ZHANG Yong-hua LIANG Ping-yuan ZENG Qing-li |
| |
| Abstract: | Through analysing the process of the heating type thick film O3 sensors by mixing Nb5+, Ti4+ into WO3 and combining TPD and semiconductor analysis, the effect of the Nb5+, Ti4+ on the properties of O3 sensors is studied in this paper. |
| |
| Keywords: | doping ion O3 sensors effect |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
