| 基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 |
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| 引用本文： | 谭鑫,沈晨,吴娜,张方程,巴音贺希格. 基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅[J]. 光学精密工程, 2013, 21(9) |
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| 作者姓名： | 谭鑫 沈晨 吴娜 张方程 巴音贺希格 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目，国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目，中国科学院重大科研装备研制项目，吉林省科技发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了制备闪耀凹面光栅的离子束刻蚀工艺,提出了用“解析分区法”设计闪耀凹面光栅的衍射效率.该方法能通过确定离子束入射角,在实验前定量给出平行离子束刻蚀后光栅衍射效率的设计结果.经过理论设计计算出所需波长衍射效率较高的凹面闪耀光栅中心闪耀角,利用刻蚀模拟软件BLAZING计算出离子束刻蚀参数及光刻胶掩模参数;以计算结果为依据,利用全息-离子束刻蚀工艺制作出尺寸为45 mm×40 mm2,曲率半径为224 mm的凹面闪耀光栅,其中心闪耀角约为9.21°,峰值衍射效率为54.8％@300 nm,250 nm处衍射效率为50％,与“解析分区法”计算结果符合较好.实验结果表明,利用“解析分区法”进行凹面闪耀光栅衍射效率设计的方法简单易行,能够有效指导平行离子束刻蚀闪耀凹面光栅工艺,完成高衍射效率凹面闪耀光栅的制作.
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| 关 键 词： | 凹面光栅 闪耀光栅 分区法 衍射效率 离子束刻蚀 |
Design of diffraction blazed concave grating by partitioned space calculated method |
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| TAN Xin , Shen Chen , WU Na , ZHANG Fang-cheng , Bayanheshige. Design of diffraction blazed concave grating by partitioned space calculated method[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(9) |
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| Authors: | TAN Xin Shen Chen WU Na ZHANG Fang-cheng Bayanheshige |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | concave grating blazed grating partitioned space method diffraction efficiency ion beam etching |
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