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特殊类型含硼半导体性金刚石的合成
作者姓名:
王松顺
摘 要:
为了促进对特殊类型舍硼半导体金刚石的研究与开发,使金刚石的品种、质量与应用技术得到迅速的发展,介绍了特殊类型舍硼半导体金刚石的合成实验方法、条件、工艺及效果,讨论了影响特殊类型含硼半导体全刚石合成效果的因素。指出了提高特殊类型含硼半导体金刚石合成质量及性能的方法与途径。
关 键 词:
合成 电导率 特殊类型含硼半导 体金刚石 性能 晶体
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