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| 反应溅射法制备的软磁铁氮膜 | |
| 作者姓名： | 肖春涛 韩建平 耿胜利 杨正 陈子瑜 |
| 作者单位： | 兰州大学物理系 |
| 摘 要： | 用反应溅射法在Ar＋N2混合气氛中制备了软磁性铁氮膜，并对样品进行了真空退火热处理。考察了制备条件和热处理对铁氮膜的微结构和软磁性能的影响。发现氮气的加入导致了晶粒尺寸减小和软磁性能改善，还能抑制热处理过程中的晶粒生长 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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