| 宏微定位平台运动切换减振问题研究态势 |
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| 引用本文： | 张揽宇,高健. 宏微定位平台运动切换减振问题研究态势[J]. 制造技术与机床, 2014, 0(11) |
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| 作者姓名： | 张揽宇 高健 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室,广东广州,510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)项目，广东省高等学校科技创新重点项目，广东省战略性新兴产业专项 |
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| 摘 要： | 高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量.近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步发展的瓶颈.基于此,首先对当前国内外宏微定位平台及其运动切换环节振动问题的研究现状进行介绍,继而分别介绍与分析了宏微定位平台系统的机构形式、驱动方式、导轨及其他因素对运动切换环节振动问题的影响,最后对目前运动切换减振方法进行概述,重点提出基于压电陶瓷的新型减振方法,以期对未来宏微定位平台运动切换的减振研究提供一定的参考作用.
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| 关 键 词： | 微电子制造装备 宏微高速高精密定位平台 运动切换环节减振 压电陶瓷主动减振 |
Development status of the vibration damping in the motion handover of the macro/micro positioning system |
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| ZHANG Lanyu,GAO Jian. Development status of the vibration damping in the motion handover of the macro/micro positioning system[J]. Manufacturing Technology & Machine Tool, 2014, 0(11) |
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| Authors: | ZHANG Lanyu GAO Jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectronics manufacturing equipment macro-micro high-speed high-precision position platform vibration damping in the positioning handover active vibration damping based on PZT |
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