8.5kV晶闸管的设计与工艺研究

随着电力电子装置复杂性和功率水平的不断提高,对晶闸管电压等级的要求越来越高。采用高压晶闸管可减少串联的元件数,缩小装置体积并节省成本,同时可提高其可靠性。对8.5 kV高压晶闸管进行了特性设计与工艺研究。为提高阻断电压,采用了低浓度的深结扩散工艺实现了理想的杂质浓度分布,同时结合双负斜角台面终端和少子寿命控制技术,研制出阻断电压为8.5 kV、电流为700 A的高压晶闸管,其动态特性及参数的一致性均满足设计和应用要求。