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| 用电子束掺杂形成浅结 | |
| 引用本文： | 蔡守民.用电子束掺杂形成浅结[J].微细加工技术,1984(4). |
| 作者姓名： | 蔡守民 |
| 作者单位： | 长沙半导体工艺设备研究所电子束退火小组 |
| 摘 要： | 本文介绍用电子束掺杂形成浅结的方法和实验结果,给出了结深在0.1～0.2μm的掺磷、掺硼、掺砷的掺杂层的载流子沿深度方向的分布曲线,以及用此法作的平面二极管的伏安特性曲线。在5伏下,反向漏电流<1×10~(-8)A。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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