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厚膜永磁阵列表面磁场分布研究
引用本文:彭斌,张文旭,蒋洪川,张万里,杨仕清. 厚膜永磁阵列表面磁场分布研究[J]. 固体电子学研究与进展, 2005, 25(1): 133-137
作者姓名:彭斌  张文旭  蒋洪川  张万里  杨仕清
作者单位:电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054
基金项目:本文工作得到四川省稀土材料及应用工程研究中心基金支持
摘    要:厚膜永磁阵列是近年来 MEMS器件中的重要材料之一 ,研究其表面磁场分布对实际应用中永磁阵列单元几何尺寸的设计具有重要指导作用。文中建立了厚膜永磁阵列表面磁场分布的计算模型 ,并得到了永磁阵列表面磁场分布。结果表明永磁阵列表面磁场呈周期性分布 ,与磁体单元高度、宽度以及磁体单元间隔密切相关。

关 键 词:永磁阵列  磁场分布  永磁薄膜
文章编号:1000-3819(2005)01-133-05
修稿时间:2003-02-24

Study on the Magnetic Field Distribution of the Thick Film Permanent Magnet Array
PENG Bin,ZHANG Wenxu,JIANG Hongchuan,Zhang Wanli,YANG Shiqing. Study on the Magnetic Field Distribution of the Thick Film Permanent Magnet Array[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2005, 25(1): 133-137
Authors:PENG Bin  ZHANG Wenxu  JIANG Hongchuan  Zhang Wanli  YANG Shiqing
Abstract:Thick film perman ent magnet arrays are an important mate rial used in the MEMS devices in recent years. The research of the surface magn eti c field of the magnet array can provide an import ant guidance to design the geometric par amete rs of the magnets in the applications of the perma nent array. In this paper, the computatio n model of the thick film permanent magnet array has been established, and the mag neti c field distribution has also been prese nted. The results show that the distribu tions of the surface magnetic field of the magnet array vary periodically and are influenc ed severely by the height and width of t he magnet and the gap between the magnet s.
Keywords:permanent magnet array  magnetic field distribution  permanent magnetic films
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