| 一种MEMS热微执行器的设计与制作 |
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| 引用本文： | 杨静,高建忠,赵玉龙,蒋庄德. 一种MEMS热微执行器的设计与制作[J]. 微纳电子技术, 2005, 42(4): 175-179 |
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| 作者姓名： | 杨静 高建忠 赵玉龙 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,精密工程研究所,西安,710049 |
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| 摘 要： | 介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列。
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| 关 键 词： | 微机电系统 热微执行器 阵列 有限元 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)04-0175-05 |
| 修稿时间： | 2004-10-27 |
Design and Fabrication of MEMS-Based Thermal Micro-Actuator |
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| YANG Jing,GAO Jian-zhong,ZHAO Yu-long,JIANG Zhuang-de. Design and Fabrication of MEMS-Based Thermal Micro-Actuator[J]. Micronanoelectronic Technology, 2005, 42(4): 175-179 |
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| Authors: | YANG Jing GAO Jian-zhong ZHAO Yu-long JIANG Zhuang-de |
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| Abstract: | A MEMS V-shaped beam micro-actuator array based on thermal expansion is described,and the design,simulation and fabrication are presented. For predicting the relation between the structural parameters of the V-shaped beam and the displacement and actuating force,the theoretical analysis is developed. The structural parameters are optimized to improve the displacement and actuating force by means of FEM. Based on the result of simulation,the V-shaped beam thermal micro-actuator array is fabricated on a SOI wafer by DRIE. |
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| Keywords: | MEMS thermal micro-actuator array FEM |
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