| 超精密隔振平台主动振动控制系统设计 |
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| 引用本文： | 浦军,梅德庆,陈子辰. 超精密隔振平台主动振动控制系统设计[J]. 机械设计, 2003, 20(7): 31-33 |
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| 作者姓名： | 浦军 梅德庆 陈子辰 |
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| 作者单位： | 浙江大学,现代制造工程研究所,浙江,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50075078) |
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| 摘 要： | 建立了超精密隔振平台的结构及动力学模型，设计了一种新型的双向电磁作动器，并采用PID控制算法建立了主动振动控制系统模型，经Matlab软件仿真分析表明，该系统具有良好的隔振效果。
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| 关 键 词： | 超精密隔振平台 主动振动控制系统 设计 双向电磁作动器 振动控制 PID控制 精密加工 |
| 文章编号： | 1001-2354(2003)07-0031-02 |
Active vibration control system design for ultra-precision vibration isolation platform |
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| PU Jun,MEI De qing,CHEN Zi chen. Active vibration control system design for ultra-precision vibration isolation platform[J]. Journal of Machine Design, 2003, 20(7): 31-33 |
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| Authors: | PU Jun MEI De qing CHEN Zi chen |
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| Abstract: | Structure model and dynamics model of ultra-precision vibration isolation platform was established.We designed a new-typed double direction electromagnetic actuator,and set up a model of active vibration control system by the PID control algorithm. Through analysis with software of Matlab, it is made clear that this system have favorable vibration isolation effect. |
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| Keywords: | ultra-precision vibration isolation platform double direction electromagnetic actuator vibration control PID control |
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