| MeV He+离子注入氧化锌晶体光波导特性研究 |
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| 引用本文： | 明宪兵,卢霏,刘汉平,王磊,侯东超,刘祥志,张瑞锋.MeV He+离子注入氧化锌晶体光波导特性研究[J].中国激光,2009,36(2). |
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| 作者姓名： | 明宪兵 卢霏 刘汉平 王磊 侯东超 刘祥志 张瑞锋 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学信息科学与工程学院,山东,济南,250100
2. 山东大学物理学院,山东,济南,250100 |
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| 摘 要： | 用能量为2.0 MeV剂量为2×1016 ion/cm2 He+离子室温下注入到z切的氧化锌晶体中形成光波导.退火前后用棱镜耦合法在633 nm激光波长下测量波导的暗模特性,发现在空气中经过适当退火后暗模消失,说明晶格损伤减少,进一步的退火处理有可能使晶格损伤完全恢复.用TRIM ′2003程序模拟了2.0 MeV He+离子注入到氧化锌晶体的过程,得到氧化锌损伤分布与穿透深度的关系曲线,并利用反射计算法重构了离子注入波导的折射率分布, 发现在波导区折射率增加,在离子射程的末端有一个折射率降低的光学位垒,结果还显示折射率分布曲线与损伤分布曲线非常相似,这充分说明核碰撞所造成的晶格损伤是形成光波导的主要原因.
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| 关 键 词： | 导波光学 光波导 折射率分布 离子注入 氧化锌 |
Characterization of Optical Waveguide in ZnO Crystal Formed by MeV Helium Ion Implantation |
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| Ming Xianbing,Lu Fei,Liu Hanping,Wang Lei,Hou Dongchao,Liu Xiangzhi,Zhang Ruifeng.Characterization of Optical Waveguide in ZnO Crystal Formed by MeV Helium Ion Implantation[J].Chinese Journal of Lasers,2009,36(2). |
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| Authors: | Ming Xianbing Lu Fei Liu Hanping Wang Lei Hou Dongchao Liu Xiangzhi Zhang Ruifeng |
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